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Optimization of DC reactive magnetron sputtering deposition process for efficient YSZ electrolyte thin film SOFC

机译：高效YSZ电解质薄膜SOFC的DC反应磁控溅射沉积工艺优化。

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Hidalgo, Hervé; Thomann, Anne-Lise; Lecas, Thomas; Vuillet, Julien; Wittman-Teneze, K.; Damiani, David; Millon, Eric; Brault, Pascal;
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年度 2013
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